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            P-810系列流量計

            最適合于半導體制造工藝中的各種氣體流量測控。采用外周密封方式取得了好評。目前已被廣泛應用于各種裝置上,另外也供應電解研磨處理、低泄漏的高品質類型產品。

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            主要用途

            半導體生產設備中的氣體流量測控,防泄漏要求高的生產線。

            標準參數

            測量對象 全部液體,全部氣體
            流量范圍 空氣 最小范圍:5~50L/min(nor)
            最大范圍:6~60L/min(nor)
            最小范圍:5~50mL/min
            最大范圍:0.2~2L/min
            · 空氣在0°C,0Mpa(1atm)的流量。
            · 選擇流量范圍時,請到官網下載中心下載本產品PDF,參照標準流量表。
            · 如果氣體的使用壓力不為0MPa,請電話咨詢。
            有效刻度范圍 10:1
            有效指示精度 P-813:±3% F.S.
            P-812:±5% F.S.
            最高使用溫度 120℃ (使用FPM時)
            材質 本體接液部 SCS14(標準), SUS316(亦可,詳情請咨詢)
            錐管 耐熱玻璃
            墊圈 FPM(最高120℃)
            CR(最高80℃)
            本體側板 SUS304
            面板 透明PVC
            連接方式 標準 Rc1/4
            可選 Rc1/8
            NPT1/4
            1/4SW, 3/8SW
            1/4VCR, 3/8VCR
            安裝方法 標準 面板前安裝六角螺母
            可選 安裝遮光板
            重量(標準型) 約0.6kg(P-813)
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