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            P-820系列流量計

            與P-810系列一樣廣泛應用于半導體制造工藝中的各種氣體流量測控可制作帶有磁簧開關警報裝置。

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            主要用途

            半導體生產設備

            標準參數

            測定對象 水,所有氣體
            流量范圍 空氣 最?。? ~ 20 mL/min(nor)
            最大:12 ~ 60 L/min(nor)
            最?。? ~ 50 mL/min
            最大:0.2 ~ 2 L/min
            · 空氣在0°C,0Mpa(1atm)的流量。
            · 選擇流量范圍時,請到官網下載中心下載本產品PDF,參照標準流量表。
            · 氣體的使用壓力不為0MPa,請電話咨詢。
            有效刻度范圍 10:1(一部分為10:2)
            有效指示精度 P-823:±3 % F.S.
            P-821:±5 % F.S.
            最高使用壓力 0.8 MPa
            最高使用溫度 120℃
            材質構成 本體接液部 SCS14(標準), SUS316(SUS316L亦可)
            錐管 耐熱玻璃
            墊圈 FPM(最高120℃)
            CR(最高80℃)
            本體側板 SPCC,C2801P
            面板 亞克力
            連接方式 標準 Rc1/4
            可選 Rc1/8
            NPT1/4, NPT1/8
            1/4SW , 3/8SW
            1/4VCR, 3/8VCR
            安裝方法 標準 面板前安裝六角螺母
            可選 安裝遮光板
            重量(標準型) 約0.6kg(P-821)
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